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准分子激光气体
准分子激光气体 http://www.huategas.com/
准分子激光气体在准分子激光器全球的医疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高端行业得到广泛的应用，但作为专业的准分子激光气体的重要厂商，我们同时也发现在准分子激光器的使用上，还存在着一些隐忧，笔者想通过这篇文章，以引起相关操作人员的重视。
准分子激光气体的主要成分：
氟化氩（ArF) 193 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氟化氪（KrF) 248 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙（XeF） 351 nm：F2、Xe、He、Ne
显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害最主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。
除了稀有气体之外，准分子激光气中的F2是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下，准分子激光气体都是以预混的形式进行供应，这些预混气的F2浓度都在1%以下，但足以对人体健康构成威胁，尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气，使用的是5%F2+95%He，这类型的气体对人体的危害更为严重。
氟气，化学式F2，是一种淡黄色、极具腐蚀性的双原子分子气体，密度（标准状态下）：1.554kg/m3 比空气大。有特殊气味，吸入感觉干燥。
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广东华特气体股份有限公司（原名：佛山市华特气体有限公司）位于珠三角腹地佛山市南海区，创建于1999年，公司以广东佛山为产品研发基地，分别在广东、江西、浙江、陕西、湖北、湖南、香港等地设立了十余家全资子公司
公司从事气体及气体设备的研发和生产，气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、电光源气体、超高纯气体、标准气体、医用气体、食品工业用气体等十几个系列共200多个品种，并不断研发新产品满足市场需求。生产低温绝热气瓶、汽化器、LNG应急撬等气体设备，安装超高纯气体及工业气体应用配套设备等。为用户提供气体应用一体化解决方案。
推荐产品:高纯二氧化碳，标准气体，氪氖氙混合气，准分子机会气体，环氧乙烷
气体标准样品和气体标准物质（以下简称为标准气体）作为一种实物标准和计量基准，广泛应用于科学研究、环境检测、医疗卫生、石油化工、化肥、电力、煤炭、冶金、机械等国民经济的各个领域。标准气体在校准仪器仪表、评价测量方法、计量标准的传递和量值仲裁以及气体标准的有效实施等方面发挥了极其重要的作用。
我国标准气体的生产和使用面大量广，但是这些作为基准的标气体，其组份量值 却常常很不标准，市场极其混乱，相同组分含量的标准气体（特别是含氧氮组分的标准气体）进行量值比对，其比对数据相差一倍以上的情况经常发生。
配制过程引入的标准气体量值不确定度主要是气瓶处理和配制过程的系统气密性及称重误 差构成，配制不确定度可以通过提高配气设备的精密度和严格配制程序给予降低或消除，例如采用高精度的称量设备、高性能的配气装置、符合要求的气瓶处理系统、严格的配气过程和实验室条件等。
分析过程导致配制的标准气体量值不确定度主要来源于以下向个方面：一是分析器采用 的标准气体量值不准确；二是分析仪器的载气系统不能保证作为参考的基准零点气的量值为绝对零；三是分析仪器的灵敏度达不到应有的检测精度，很多分析仪器的检测限都在0.1*10-6以上；四是分析仪器重现性不理想。
因此要通过建立一种数学方法，减小甚至消除由分析过程导致的标准气体分量值不确定度，在包装容器和配制过程造成的不确定度可以消除或确定量值的情况下，通过数学方法推算出所配制的标准本组分的绝对量值，以解决我国近切需要的量值准确、可靠的标准气体的难题，并对自制的标准气体进行组分绝对量值的推算。
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