真空制备:MKS仪器公司是一家专门从事精密机械零部件和机电组件,包括真空室,歧管,阀门,加热器,仪表,工艺管道,压力表歧管套件,污水管理子系统和定制生产的储罐和容器的制造和定制。
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MKS据收集与分析:MKS数据收集和分析能力,包括软件企业范围内的反馈和前馈过程自动控制和监测,收益管理软件,以及硬件和软件的集成传感器,数据采集和数据分析,包括多元分析。我们的的子公司Umetrics,是实验设计的软件更容易庞大和复杂的数据集的分析和多变量分析中的佼佼者。
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MKS溶解气体:溶解气体被处理,清洗及消毒的各种半导体,生物制药,制造业应用的一种清洁,安全,有效的解决方案。
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MKS流量测量,控制和验证:MKS系列的流量交付产品,包括质量流量控制器(MFC),在原位质量流量验证,流动比率控制器,准确和可重复的气体流量划分成精确流在这个过程中多点。
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MKS红外/ NDIR分析仪:FTIR(傅立叶变换红外)和NDIR(非色散红外)实时时间和在线气体分析仪器从MKS仪器能够ppb到ppm灵敏度的多气种,包括NF 3,NH 3,H 2,NO 2和N O和高达30%的水的气体。
MKS阀门:是一个领先的高可靠性,高精度不锈钢真空隔离阀和压力控制阀。MKS系列包括波纹管真空隔离阀,球阀,手动,气动和电气动阀,在加热或不加热的角度和内嵌配置,安全切断阀和软启动阀。我们的压力控制阀生产线包括摆,蝴蝶,叶片和提升油门阀集成控制子系统。
其他产品:
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气体及蒸气
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加热器、
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检漏
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臭氧产品
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等离子体源
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压力/真空控制
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压力/真空测量
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残余气体分析/质谱法
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RF和DC电源
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卫浴配件,过滤器外壳,加热器
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陷阱和污水管理
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真空元件
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真空室
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真空压力表
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