高纯四氟化碳(交易信息.qiti88.免费信息)相关参数

序号	名称	化学式	纯度(%)	压力(Mpa)	充装量(m3/kg)	阀门|螺纹出口	钢瓶容积(L)	钢瓶尺寸(cm)	钢瓶皮重(kg)
1	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	28公斤	PX-32|G5/8	40	29×145	50
2	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	30公斤	CGA580	44	29×145	53
3	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	5公斤	PX-32|G5/8	8	22×70	10

产品分类：四氟化碳
纯度：99.999%（5N）
包装：钢质无缝气瓶
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式：CH4


其它参数：
摩尔质量     88.00 g·mol¹
外观     无色无味气体
密度     3.72 g/l, 气体 (15 °C)
熔点     -183.6 °C (89.6 K)
沸点     -127.8 °C (145.4 K)
溶解性（水）     0.005 %V, 20 °C
0.0038 %V, 25 °C
蒸气压     3.65 MPa, 15 °C
106.5 kPa, -127 °C
气相标准熵(J·mol·K) ：261.40
气相标准热熔(J·mol·K)：61.05
标准摩尔生成焓-932.31 kJ/mol，
标准摩尔生成熵261.04J/（mol﹒K），
标准摩尔自由能-929.84 kJ/mol，
标准摩尔生成自由能-887.41 kJ/mol


用途：
四氟化碳有时会用作低温冷却剂。它可用于电路板的制造，以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体蚀刻剂及等离子体蚀刻版。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。 　


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