对于锗或硅这种纯质(本征)半导体来说,低温下这些物质根本不导电。只有掺杂一些杂质时,这些物质才能导电。芯片行业和研究行业中经常用到的掺杂方法就是离子注入。 在这个过程中, 会将杂质钢注入半导体的晶格中。
即使在离子轰炸或离子掺杂等极端条件下,纹理细密、具有高密度的石墨的腐蚀性仍非常低。正因如此,石墨屏蔽体就能保护暴露在高磨损环境下的金属元件,这些金属元件来自离子注入设备的离子束。除提供石墨屏蔽体元件之外,弘竣实业也提供电极和离子源,这些产品是用耐冲蚀且高纯度的石墨生产而成的,适用于各种类型的离子注入机。
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