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等离子刻蚀 离子注入用石墨

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品牌: 上海汇湛
单价: 3500.00元/kg
起订: 1 kg
供货总量: 1000 kg
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2014-10-24 13:10
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产品详细说明

等离子刻蚀 离子注入用石墨

 要确保等离子刻蚀的电极具有很长的使用寿命,就必须采用高强度且高纯度的紧实材料结构, 并确保腐蚀性最小。汇湛能源科技采用纯化后的石墨能满足这些要求。 提供的所有常见类型的电极都具有极高的表面光洁度和光滑度。
对于锗或硅这种纯质(本征)半导体来说,低温下这些物质根本不导电。只有掺杂一些杂质时,这些物质才能导电。芯片行业和研究行业中经常用到的掺杂方法就是离子注入。 在这个过程中, 会将杂质钢注入半导体的晶格中。
即使在离子轰炸或离子掺杂等极端条件下,纹理细密、具有高密度的石墨的腐蚀性仍非常低。正因如此,石墨屏蔽体就能保护暴露在高磨损环境下的金属元件,这些金属元件来自离子注入设备的离子束。除提供石墨屏蔽体元件之外,弘竣实业也提供电极和离子源,这些产品是用耐冲蚀且高纯度的石墨生产而成的,适用于各种类型的离子注入机。
我们热忱欢迎社会各界人士来电咨询!
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