级别 BEL(相当于SEMI-C12标准）英文名 Hydrofluoric acid selectipur主要用途 电子工业用蚀刻剂技术条件(单位：ppb)灰尘颗粒 0.1微米 < 27个色泽 5#磷酸盐(PO43-)≤50氯化物(CL-)≤50硫酸盐(SO42-)≤50亚硫酸盐(SO42-)≤50六氟化硅(SiF6)≤50溶出物(TOC)≤10镉(Cd)≤0.1镓(Ga)≤0.1钴(Co)≤0.1锰(Mn)≤0.1铂(Pt)≤0.1钛(Ti)≤0.1铝(Al)≤0.1砷(As)≤0.1钙(Ca)≤0.1金(Au)≤0.1铜(Cu)≤0.1钼(Mo)≤0.1钡(Ba)≤0.1铅(Pb)≤0.1铬(Cr)≤0.1铟(In)≤0.1锂(Li)≤0.1钠(Na)≤0.1锶(Sr)≤0.1铍(Be)≤0.1硼(B)≤0.1铁(Fe)≤0.1钾(K)≤0.1镁(Mg)≤0.1镍(Ni)≤0.1铊(Tl)≤0.1银(Ag)≤0.1钒(V)≤0.1铋(Bi)≤0.1锌(Zn)≤0.1锡(Sn)≤0.1锆(Zr)≤0.1锗(Ge)≤0.1铌(Nb)≤0.1钯(Pd)≤0.1钽(Ta）≤0.1钨(W)≤0.1