CY-2A台式等离子清洗机主要技术参数
整机规格:440mm(W)×500mm(D)×220mm(H) |
腔体规格:Φ100mm×270mm |
电极规格:内置平板电极 |
电极尺寸:70mm×240mm |
载物方式:平放/悬挂均可 |
载物平台:单层80mm×120mm |
电源系统:40KHz固态晶体管等离子发生源, |
控制系统:手动控制 |
真空系统:旋片油泵,抽速:4L/S |
底真空度:<5Pa,工作真空度5-100Pa内连续可调 |
CY-2A台式等离子清洗机主要技术参数
整机规格:440mm(W)×500mm(D)×220mm(H) |
腔体规格:Φ100mm×270mm |
电极规格:内置平板电极 |
电极尺寸:70mm×240mm |
载物方式:平放/悬挂均可 |
载物平台:单层80mm×120mm |
电源系统:40KHz固态晶体管等离子发生源, |
控制系统:手动控制 |
真空系统:旋片油泵,抽速:4L/S |
底真空度:<5Pa,工作真空度5-100Pa内连续可调 |
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