主要技术参数:
工作温度:1200℃
炉管长度:1200mm
炉管直径:50mmm
炉管厚度:5mm
密封方式:不锈钢真空法兰
真空度:1.0X10E-3Pa
流量计类型:质量流量计
气体流量:100SCCM、200SCCM、500SCCM
载料舟长度:200mm
移动速度:160mm/60min(可根据实际要求调节)
温度控制:50段可编程控制
控制系统:全电脑程序控制
主要技术参数:
工作温度:1200℃
炉管长度:1200mm
炉管直径:50mmm
炉管厚度:5mm
密封方式:不锈钢真空法兰
真空度:1.0X10E-3Pa
流量计类型:质量流量计
气体流量:100SCCM、200SCCM、500SCCM
载料舟长度:200mm
移动速度:160mm/60min(可根据实际要求调节)
温度控制:50段可编程控制
控制系统:全电脑程序控制
页面信息收录情况:稀有金属区域提纯炉
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