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产品应用：
DC、RF、mmW测试
纳米级电子器件测试，微机电测试
高功率测试
产品特点：
SP 系列是专为亚微米级分析测试而研发的探针台，包含6/8/12英寸三个不同型号，可应用于I-V/C-V测试、RF测试、mmW（毫米波/微波）测试、T-Hz测试、失效分析、晶圆或器件的特性测量、MEMS（微机电）等等的分析测试中。
SP 系列低重心的结构设计，确保了台体在高精度测试下的稳定性。载物台移动基座采用高精度丝杆传动，配合高精度交叉滚柱导轨和直线导轨进行导向，实现了载物台亚微米级的空间定位精度；同时，一体化的探针座放置平台，配合高刚性的支撑机构，整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，保证了测试探针的稳定性。显微镜的龙门支架及同轴移动基座，让显微镜定位操作更加快速方便，同时还保持了超高的稳定性，为亚微米级的空间定位精度提供了稳定的光学支持。
SP系列结构设计紧凑，如显微镜的同轴调节机构，载物台的真空驱动开关及快速拖出功能等，有效地提高了用户的操作效率。载物台Z轴细调行程为13mm，配合平台板Z轴行程45mm，使SP系列可适用于更多不同的测试配置和样片，满
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技术指标 |
足更多的分析应用需求。
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载物台(常规晶圆载物台） |
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尺寸 |
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
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材质 |
不锈钢 |
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平整度 |
≤±2.5μm |
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真空区域* |
0，2"，4"，6"环形吸附** |
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真空控制 |
手动控制，独立真空区域 |
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真空驱动方式 |
真空泵 |
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载物台电性能 |
载物台信号导通，可选择接地或接信号 |
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*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。 |
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载物台移动基座 |
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X-Y轴行程范围* |
6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程 |
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精度 |
1μm |
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R轴粗调角度范围 |
360° |
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R轴细调角度范围 |
±9° |
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微调精度 |
0.0001°/deg |
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Z轴细调行程范围 |
13mm |
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细调精度 |
1μm |
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Z轴快升行程 |
0~6mm, 可调 |
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Z轴往复精度 |
<1μm |
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*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。 |
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探针座放置平台 |
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材质 |
钢，表面沉镍处理 |
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平台板尺寸* |
可放置8个CM50或4个RF50探针座 |
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平台板至载物台高度 |
1.496”(38mm) （该参数待定） |
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探针座兼容性 |
可兼容磁力或真空吸附底座的探针座 |
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Z轴细调行程范围 |
45mm |
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Z轴快升行程 |
350μm （该参数待定） |
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Z轴往复精度 |
<1μm |
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*此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询客服人员。 |
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显微镜移动基座 |
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X-Y轴行程范围 |
2"*2"(50mm* 50mm) |
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X-Y轴精度 |
1μm |
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调焦行程 |
2"(50mm) |
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精度 |
1μm |
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Z轴粗调行程 |
100mm |
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气动升降行程 |
40mm |
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光学系统 |
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类型 |
金相显微镜，可选单筒显微镜 |
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光学放大倍数* |
20X-2000X |
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* 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。 |
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加热载物台(可选项） |
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尺寸 |
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
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温度范围 |
室温~300℃ |
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温控精度* |
0.5℃（典型值） |
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温度均匀性 |
0.5℃@6"载物台 |
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加热时间 |
<6min（室温~300℃） |
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标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。 |
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RF载物台(可选项） |
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尺寸 |
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
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校准片载物台 |
2个（独立真空控制） |
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尺寸 |
配套CS-5等尺寸的校准片 |
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校准片载物台角度调节范围 |
7° |
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材质 |
不锈钢 |
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平整度 |
≤±2.5μm |
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真空驱动方式 |
真空泵 |
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其它扩展配件(可选项） |
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探针卡夹具 |
可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试 |
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激光器 |
1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。 |
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半自动控制系统 |
实现晶圆小批量半自动测试需求 |
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设备环境要求 |
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电源 |
220V±10% |
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真空 |
-8bar |
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压缩空气 |
0.6MPa |
